Das kompakte optische 3D-Messgerät μSurf explorer wird für die Messung und Analyse von Oberflächen verwendet. 
Die Messtechnik beruht auf der Konfokaltechnik. 

Mit dem µSurf explorer lassen sich nach DIN EN ISO konforme Rauheitsbestimmungen, Analysen von 3D-Strukturen, Schichtdicken und Geometriemessungen im Mikro- und Nanometerbereich durchführen. 

Der μSurf explorer ist sehr robust und Umgebungseinflüsse wie Schwingungen, Staub oder Spritzwasser spielen für die Präzision der Messergebnisse keine Rolle. Der Einsatzbereich ist für ein breites Materialspektrum geeignet. Nahezu alle Oberflächen, ob Polymere, Metalle oder Verbundwerkstoffe, lassen sich messen. Zur Messung mit dem μsurf explorer ist keine Probenvorbereitung notwendig. 

Der μSurf explorer bietet eine nanometergenaue Auflösung aufgrund der konfokalen Multi-Pinhole-Technologie und einer präzisen Piezo-Verstelleinheit. Es werden raue Oberflächen und Strukturen mit steilen Flankenwinkeln sicher erfasst und auch spiegelnde Oberflächen lassen sich in Messwerte umsetzen. 
Die eingesetzten Objektive bieten je nach Vergrößerung Einzelmessfeldgrößen zwischen 1,6 x 1,6 mm und 260 x 260 μm bei frei wählbarer vertikaler Auflösung. Es entstehen reale 3D-Werte und weiter können Funktionen wie Volumenbestimmung, Berechnung der Isotropie oder Partikelanalyse genutzt werden. 

Die Software beinhaltet alle nach DIN EN ISO normierten 2D-Parameter und eine Vielzahl internationaler Kennwerte.

Technische Daten

Messkopf 

Bildaufnahmemodul: 
High-Speed Progressive-Scan-Digitalkamera mit bis zu 55 fps, 512x512 Pixel, 10 bit, Firewire 

Lichtquelle: 
Hochleistungs-LED (λ = 505 nm), MTBF: 50.000 h

Scanmodule

x,y-Positioniermodul MN 50: 
x,y-Präzisionsverfahrtisch, Verfahrweg: 50x50 mm2, Auflösung: 0,3 μm

z-Positioniermodul MN 75: 
Präzisionsverstelleinheit, Verfahrweg: 75 mm, Auflösung: 0,2 μm

z-Messmodul NV 250: 
Schnelle Präzisionsverstelleinheit (Piezo), Messweg: 250 μm, Auflösung: < 10 nm

Granitstativ: 
440x260x320 mm (HxBxT) inkl. schwingungsabsorbierender Gerätefüße

Software 

μSoft control: 
NanoFocus Mess- und Auswertesoftware, Profil- und Topografiedarstellung, Rauheitsberechnung nach DIN EN ISO

μSoft analysis (Standard): 
Software zur Analyse von 3D-Messdaten, Layout-Funktion, Erstellen von Serienprotokollen

Stitch (Standard): 
Software zur Messfelderweiterung (μsoft control-Plugin)

Optikmodule

1600 S

Vergrößerung: 10x
Messfeld (μm): 1600x1600
Numerische Apertur: 0,3
Arbeitsabstand (mm): 11
Auflösung in z-Richtung (nm): 20
Auflösung in x,y-Richtung (μm): 3,1 

800 L, S, XS

Vergrößerung: 20x
Messfeld (μm): 800x800
Numerische Apertur: 0,4/0,45/0,6
Arbeitsabstand (mm):12,1/3,1/0,9
Auflösung in z-Richtung (nm): 6/5/4
Auflösung in x,y-Richtung (μm): 1,6 

320 L, S

Vergrößerung: 50x
Messfeld (μm): 320x320
Numerische Apertur: 0,5/0,8
Arbeitsabstand (mm): 10,6/1,0
Auflösung in z-Richtung (nm): 4/2
Auflösung in x,y-Richtung (μm) : 0,7 

260 XS

Vergrößerung : 60x
Messfeld (μm): 260x260
Numerische Apertur: 0,9
Arbeitsabstand (mm): 0,4 
Auflösung in z-Richtung (nm): 2
Auflösung in x,y-Richtung (μm): 0,5