Das optische Messgerät OS 500 der Fa. OptoSurf (Ettlingen) wird zur in-line Rauheits- und Formmessung eingesetzt und arbeitet nach dem Streulichtverfahren. Eine LED erzeugt einen kollimierten Lichtstrahl, der auf die zu untersuchende Oberfläche projiziert wird. Die innerhalb der beleuchteten Fläche auftretende Makro- und Mikrostruktur erzeugt eine charakteristische Streulichtverteilung, die gemessen wird. 

Der Hauptreflex, d.h. der Schwerpunkt der Streulichtverteilung, gibt die mittlere Steigung der Oberfläche im beleuchteten Bereich an. Die diffus gestreuten Anteile geben Aufschluss über die Winkelverteilung der Mikrostruktur und sind somit ein Maß für die Rauheit der Oberfläche.

Da nur Winkel, also Oberflächensteigungen, gemessen werden, ist dieses Verfahren weitestgehend unempfindlich gegenüber Abstandsänderungen und Vibrationen. Der Streulichtsensor wird daher nicht nur im Labor, sondern auch direkt in der Produktion eingesetzt. Aufgrund der hohen Datenraten von 2000 Datenpunkten pro Sekunde sind ebenfalls 100%-Prüfungen von Bauteilen möglich.