Advanced Geometrical Process Metrology

Teaching in the Winter Semester 23/24

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Contents

From [MV-MTS-86606-K-7] Advanced geometrical process metrology:

  • optische Messeinrichtungen zur Messung von Gestaltabweichungen
    • konfokales Mikroskop, Weißlichtinterferometrie, Fokusvariation
    • strukturierte Beleuchtung
    • Photogrammetrie
    • physikalische Wirkprinzipien
    • Anwendungen
  • Verformungsmesstechnik
    • Speckleinterferometrie
    • Grauwertkorrelation
    • holografische Verfahren
  • Multisensorkoordinatenmesstechnik und Nanomessmaschine
  • MikroCT, OCT
  • Inline Messtechnik
    • pneumatische Messtechnik
    • Streulichtmesstechnik
    • Dreipunktmessung
  • Sensorschnittstellen (drahtgebunden und drahtlos)

Competencies / intended learning achievements

From [MV-MTS-86606-K-7] Advanced geometrical process metrology:

Die Studierenden sind in der Lage

  • Optische Messgeräte zu verstehen und bewerten zu können.
  • Die Verformung von Bauteilen prüfen zu können.
  • Multisensormaschinen für den Makro-, Mikro- und Submikrobereich sicher anwenden zu können.
  • Volumetrische Auswertungen von Bauteilen durchführen zu können.
  • Die Besonderheit von Inline - Messverfahren zu verstehen und anwenden zu können.

Literature

From [MV-MTS-86606-K-7] Advanced geometrical process metrology:

  • M. Born, Optik, Springer Verlag 1985
  • T. E. Furtak und M. V. Klein, Optics, Wiley Verlag 1986

Requirements for attendance of the module (informal)

Basic knowledge of physics

Requirements for attendance of the module (formal)

None