Contents

From [MV-MTS-86606-K-7] Advanced geometrical process metrology:

• optische Messeinrichtungen zur Messung von Gestaltabweichungen
  • konfokales Mikroskop, Weißlichtinterferometrie, Fokusvariation
  • strukturierte Beleuchtung
  • Photogrammetrie
  • physikalische Wirkprinzipien
  • Anwendungen
• Verformungsmesstechnik
  • Speckleinterferometrie
  • Grauwertkorrelation
  • holografische Verfahren
• Multisensorkoordinatenmesstechnik und Nanomessmaschine
• MikroCT, OCT
• Inline Messtechnik
  • pneumatische Messtechnik
  • Streulichtmesstechnik
  • Dreipunktmessung
• Sensorschnittstellen (drahtgebunden und drahtlos)

Competencies / intended learning achievements

From [MV-MTS-86606-K-7] Advanced geometrical process metrology:

Die Studierenden sind in der Lage

• Optische Messgeräte zu verstehen und bewerten zu können.
• Die Verformung von Bauteilen prüfen zu können.
• Multisensormaschinen für den Makro-, Mikro- und Submikrobereich sicher anwenden zu können.
• Volumetrische Auswertungen von Bauteilen durchführen zu können.
• Die Besonderheit von Inline - Messverfahren zu verstehen und anwenden zu können.

Literature

From [MV-MTS-86606-K-7] Advanced geometrical process metrology:

• M. Born, Optik, Springer Verlag 1985
• T. E. Furtak und M. V. Klein, Optics, Wiley Verlag 1986

Requirements for attendance of the module (informal)

Basic knowledge of physics

Requirements for attendance of the module (formal)

None