- Femtosekundenlaser
- Wellenlängen: 515 nm und 1030 nm
- Pulsdauer: < 700 fs
- Minimaler Spotdurchmesser: ca. 3 µm
- Arbeitsraum (XYZ): 300 mm x 300 mm x 300 mm
- X- und Y-Achse: Positioniergenauigkeit je Achse: ≤ ±1.2 µm; Geschwindigkeit > 100 mm/s
- Z-Achse: Geschwindigkeit: ≥ 50 mm/s
- Dreh-Schwenk-Einheit (A- und B-Achse)
- Hochpräzisions-Desktop-Bearbeitungsmaschine zur Anwendung von Mikroschaftwerkzeugen
- 3-Achs Maschine auf schwingungsentkoppelter Granit-Basis
- Arbeitsraum 100 mm x 100 mm x 100 mm
- luftgelagerter X-Y-Tisch mit einer Achsauflösung unter 20 nm; Positioniergenauigkeit unter 0,1 µm
- luftgelagerte Spindel: Drehzahl 60.000 min-1
- 3-Achs Präzisionswerkzeugmaschine auf Granitbasis (Desktop Maschine)
- Schwingungsisolierter Tisch
- Arbeitsraum: 100 mm x 100 mm x 60 mm
- Auflösung der Achsen (XY): 0,1 µm; Positioniergenauigkeit ± 0,75 µm
- luftgelagerte Spindeln: Drehzahl 160.000 min-1 und 350.000 min-1
- 3-Achs Mikrobearbeitungsmaschine auf Granitbasis (Desktop Maschine)
- Schwingungsisolierter Tisch (Newport Vision)
- Arbeitsraum: 110 mm x 110 mm x 110 mm
- Auflösung der Linearachsen: 1 nm; Positioniergenauigkeit ± 300 nm
- luftgelagerte Spindel: Drehzahl 125.000 min-1
- Präzisionslinearachse zum Wechsel zwischen Anwendungs-, Schleif- und AFM-Einheit
- integrierte Schleifeinheit zur Herstellung von Mikrofräsern
- integriertes Konfokalmikroskop zur insitu Vermessung der gefertigten Oberflächen (Nanofocus µsurf OEM)
- integriertes Rasterkraftmikroskop zur insitu Vermessung der Mikrofräser (Nanosurf NaniteAFM)
- 3-Achs Mikrobearbeitungsmaschine auf Granitbasis (Desktop Maschine)
- Schwingungsisolierter Tisch
- Arbeitsraum: 60 mm x 60 mm x 150 mm
- Auflösung der Linearachsen (XY): 1 nm; Positioniergenauigkeit ± 250 nm
- luftgelagerte Spindel: 125.000 min-1 , 160.000 min-1 und 450.000 min-1
- integrierte Beschichtungsanlage für galvanische Beschichtung
- Auf Naturgranit gelagerte Ultrapräzisions-Drehmaschine
- aktiver Niveauausgleich und Schwingungsisolierung
- hydrostatisch gelagerte Schlitten und aerodynamisch gelagerte Spindel (50 – 4.000 min-1)
- Werkstücke bis zu einem Durchmesser von 230 mm
- Werkzeug- und Werkstückmesssystem
- Kamera zur Prozessbeobachtung
- Formgenauigkeiten bis 100 nm auf ø 100 mm; Rauigkeiten bis zu 2 nm (Rq)
- Fahrwege: X = 600 mm, Y = 220 mm, Z = 250 mm, Achsgeschwindigkeit: bis zu 2000 mm/min,
- maximale Drehzahl der Luftlagerspindel: 80.000 min-1, Werkzeugaufnahme HSK E25
- hydrostatisch gelagerte Achsen, X-, Y- und Z- Achse: Antrieb über Linearmotoren, Rundachsen: Torquemotoren
- Ultrapräzise 5-Achs Dreh/Fräsmaschine
- hydrostatische Achsen, 8 Pikometer Feedback
- Delta-Tau Steuerung
- Erreichbare Formgenauigkeit (P-V): < 0.15µm / 75mm Durchmesser, auf 250mm konvexer Sphäre
- Erreichbare Oberflächenrauheit (Ra): < 3.0 nm (Bearbeitung in X-Z und Y-Z Ebenen, gleiche Sphäre)
- Desktop Maschine
- Kreuzrollenführungen; Auflösung der Linearachsen: 100 nm
- Luftgelagerte Hauptspindel; Auflösung 0,1 mrad (0°0`20,41``); Wegmesssystem mit einer Auflösung von 500 nm;
- Kugel- und luftgelagerte HF-Schleifspindel
