FEI Quanta 600 FEG

Beschleunigungsspannung: 200 V bis 30 kV
Vergrößerungsbereich: 7x bis 1.000.000x
Hochvakuum: 6x10^-4 Pa
Niedervakuum: 10 bis 130 Pa
SE- und BSE-Aufnahmen von Mikrostruktur, Bruchflächen etc.
EDX-Detektor (Energiedispersive Röntgenanalyse):
- Analyse der chemischen Elemente mit Elementverteilungsbildern
EBSD (Electron Backscatter Diffraction):
- Analyse der Korngrößen und der Kornorientierung
- Korngrenzanalyse
- Texturanalyse
- Phasenanalyse